Simulations du dépôt par pulvérisation plasma et de la croissance de couches minces
L'objectif de cette thèse est d'étudier le dépôt de couches minces par pulvérisation plasma à l'aide de simulations de dynamique moléculaire, en mettant l'accent sur les mécanismes de la formation de la microstructure dans diverses conditions de dépôt pertinentes pour les expérie...
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| Other Authors: | |
| Language: | en fr |
| Published: |
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2013ORLE2024/document |