Development and study of microdischarge arrays on silicon
L'objectif de cette thèse est de fournir une meilleure compréhension des différents phénomènes physiques liés aux microplasmas/microdécharges. Pour cela, des matrices de microréacteurs sur silicium ont été étudiées. De nombreuses configurations ont été construites de manière à analyser l’influe...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013ORLE2002/document |