Optical design and developent of building blocks for a new generation of vertically integrated on-chip confocal microscopes
Les travaux de thèse concernent le design optique et le développement d’un microscope confocal miniature MEMS intégré verticalement. Différentes architectures optiques ont été proposées afin de combiner un design optique optimal aux nombreuses contraintes technologiques liées à la fabrication colle...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2013
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| Online Access: | http://www.theses.fr/2013BESA2045/document |