Nanoparticules mono- et bimétalliques pour la métallisation de microvias par un procédé innovant utilisant les liquides ioniques
De nos jours, nous sommes entourés de dispositifs microélectroniques de plus en plus petits et performants. Pour poursuivre cette évolution, une nouvelle technologie est en cours de développement qui consiste à empiler plusieurs circuits intégrés. L’une des clefs pour aboutir à ce type d’architectur...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | en |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.theses.fr/2012LYO10196/document |