Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

Résumé === Abstract

Bibliographic Details
Main Author:	Castille, Christophe
Other Authors:	Bordeaux 1
Language:	fr
Published:	2010
Subjects:	MEMS (systèmes microélectromécaniques) Matériaux piézoélectriques Couches épaisses (électronique) Capteurs (technologie)
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