化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究

化学気相成長法によるシランからの多結晶シリコンとアモルファスシリコンの製造反応に関する反応工学的研究

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第9586号 === 論工博第3245号 === 新制||工||1082(附属図書館) === UT51-97-H423 === (主査)教授 橋本 健治, 教授 松波 弘之, 教授 三浦 孝一 === 学位規則第4条第2項該当

Bibliographic Details
Main Author: 河瀬, 元明
Other Authors: 橋本, 健治
Format: Others
Language:Japanese
Published: 京都大学 2009
Subjects:
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/77851
Description
Summary:Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第9586号 === 論工博第3245号 === 新制||工||1082(附属図書館) === UT51-97-H423 === (主査)教授 橋本 健治, 教授 松波 弘之, 教授 三浦 孝一 === 学位規則第4条第2項該当

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