アトムプローブ法および走査型トンネル顕微鏡法を用いた局所構造分析に関する研究

アトムプローブ法および走査型トンネル顕微鏡法を用いた局所構造分析に関する研究

京都大学 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第13444号 === 論工博第4195号 === 新制||工||1770(附属図書館) === (主査)教授 河合 潤, 教授 鈴木 基史, 准教授 黒川 修 === 学位規則第4条第2項該当 === Doctor of Philosophy (Engineering) === Kyoto University === DFAM...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: 金野, 晃之
Other Authors: Kinno, Teruyuki
Format: Doctoral Thesis
Language:Japanese
Published: Kyoto University 2021
Subjects:
アトムプローブ
半導体デバイス
走査型トンネル顕微鏡
グラファイト層間化合物
弾道電子放射顕微鏡
500
Online Access:http://hdl.handle.net/2433/265968
Description
Summary:京都大学 === 新制・論文博士 === 博士(工学) === 乙第13444号 === 論工博第4195号 === 新制||工||1770(附属図書館) === (主査)教授 河合 潤, 教授 鈴木 基史, 准教授 黒川 修 === 学位規則第4条第2項該当 === Doctor of Philosophy (Engineering) === Kyoto University === DFAM

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