薄膜の機械的特性の評価方法とMEMSの高機能化に関する研究

Kyoto University (京都大学) === 0048 === 新制・課程博士 === 博士(工学) === 甲第10498号 === 工博第2329号 === 新制||工||1297(附属図書館) === UT51-2003-U468 === 京都大学大学院工学研究科機械工学専攻 === (主査)教授小寺秀俊, 教授島進, 教授北村隆行 === 学位規則第4条第1項該当...

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Bibliographic Details
Main Author:	平澤, 拓
Other Authors:	小寺, 秀俊
Format:	Others
Language:	Japanese
Published:	京都大学 (Kyoto University) 2011
Subjects:	500
Online Access:	http://hdl.handle.net/2433/148297

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spelling	ndltd-kyoto-u.ac.jp-oai-repository.kulib.kyoto-u.ac.jp-2433-1482972017-10-06T03:47:45Z 薄膜の機械的特性の評価方法とMEMSの高機能化に関する研究ハクマクノキカイテキトクセイノヒョウカホウホウト MEMS ノコウキノウカニカンスルケンキュウ平澤, 拓小寺, 秀俊島, 進北村, 隆行 Hirasawa, Taku ヒラサワ, タク 500 Kyoto University (京都大学) 0048 新制・課程博士博士(工学) 甲第10498号工博第2329号新制\|\|工\|\|1297(附属図書館) UT51-2003-U468 京都大学大学院工学研究科機械工学専攻 (主査)教授小寺秀俊, 教授島進, 教授北村隆行学位規則第4条第1項該当 2011-10-27T05:36:17Z 2011-10-27T05:36:17Z 2003-11-25 2003-11-25 DAM Thesis or Dissertation http://hdl.handle.net/2433/148297 000004305295 jpn application/pdf 京都大学 (Kyoto University) Kyoto University
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薄膜の機械的特性の評価方法とMEMSの高機能化に関する研究

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