Propriedades mecânicas e tribológicas de filmes sintetizados mediante técnica de deposição e implantação iônica por imersão em plasma /
Resumo: Neste trabalho, a técnica de implantação iônica e deposição por imersão em plasmas foi utilizada para a síntese de filmes finos de polímero com características distintas dos preparados pelo método convencional de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasmas de radiofrequência (...
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Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
Guaratinguetá : [s.n.],
2004
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Online Access: | http://hdl.handle.net/11449/97118 |