Propriedades mecânicas e tribológicas de filmes sintetizados mediante técnica de deposição e implantação iônica por imersão em plasma /

Resumo: Neste trabalho, a técnica de implantação iônica e deposição por imersão em plasmas foi utilizada para a síntese de filmes finos de polímero com características distintas dos preparados pelo método convencional de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasmas de radiofrequência (...

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Bibliographic Details
Main Author: Silva, Paulo Augusto de Faria.
Other Authors: Universidade Estadual Paulista "Júlio de Mesquita Filho" Faculdade de Engenharia (Campus de Guaratinguetá).
Format: Others
Language:Portuguese
Published: Guaratinguetá : [s.n.], 2004
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/11449/97118