以ZrTiOx為介電層並利用相消效應實現高效能MIM電容

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 102

Bibliographic Details
Main Authors: Jiang, Ren-Siang, 江仁詳
Other Authors: 巫勇賢
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2013
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/13323767889461557686