The Design and Characterization of CMOS-MEMS Metal-Contact Switches

碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 102

Bibliographic Details
Main Authors: Chang, Hao-Hsin, 張浩新
Other Authors: Li, Sheng-Shian
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2014
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/994ntg
Description
Summary:碩士 === 國立清華大學 === 動力機械工程學系 === 102