Large Area CIGS Nanotips Array Solar Cells
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 99 === 摘要 本研究採用CIGS四元靶材進行物理性濺鍍製備銅銦鎵硒薄膜，再使用離子蝕刻技術直接於銅銦鎵硒薄膜(CIGS thin film)表面製備大面積規則銅銦鎵硒奈米尖錐陣列(CIGS NTs)以增加接觸面面積進而提高光電轉換效率。藉由調整蝕刻時間可以控制銅銦鎵硒奈米尖錐陣列的長度從120 nm到320 nm，另外，控制氬離子入射角進面控制銅銦鎵硒奈米尖錐陣列的夾角從最大90 度(垂直)到15度。所製備之銅銦鎵硒奈米尖錐陣列之密度更可大於4.5 × 1013/cm2。藉由穿透式電子顯微鏡(TEM)的分析可得...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Published: |
2011
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/56768388455123899254 |