利用電漿浸沒式離子佈植技術於AISI304不�袗�上生成類鑽碳膜之研究

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 93 ===

Bibliographic Details
Main Author:	陳孟賢
Other Authors:	梁正宏
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	2005
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10239664814873346743

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利用電漿浸沒式離子佈植技術於AISI304不�袗�上生成類鑽碳膜之研究

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