The dynamic analysis of MEMS and chip precision positioning platform

碩士 === 國立彰化師範大學 === 機電工程學系 === 92 ===

Bibliographic Details
Main Author: 陳俊皓
Other Authors: 王宜明
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2004
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/87612972041983378902