螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 90 ===

Bibliographic Details
Main Author: 吳雅芳
Other Authors: 李四海
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2002
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/00788745309689538498
id ndltd-TW-090NTHU0593058
record_format oai_dc
spelling ndltd-TW-090NTHU05930582015-10-13T10:34:06Z http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/00788745309689538498 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬 吳雅芳 碩士 國立清華大學 工程與系統科學系 90 李四海 2002 學位論文 ; thesis 103 zh-TW
collection NDLTD
language zh-TW
format Others
sources NDLTD
description 碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 90 ===
author2 李四海
author_facet 李四海
吳雅芳
author 吳雅芳
spellingShingle 吳雅芳
螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
author_sort 吳雅芳
title 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
title_short 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
title_full 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
title_fullStr 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
title_full_unstemmed 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
title_sort 螺旋型電感耦合式電漿源之區域平均模式電腦模擬
publishDate 2002
url http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/00788745309689538498
work_keys_str_mv AT wúyǎfāng luóxuánxíngdiàngǎnǒuhéshìdiànjiāngyuánzhīqūyùpíngjūnmóshìdiànnǎomónǐ
_version_ 1716829273396871168