擴散阻礙層厚度對銅膜應力行為之影響
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 90 ===
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
2002
|
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/81617185242573773977 |
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 90 ===
| Main Author: | |
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| Language: | zh-TW |
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2002
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/81617185242573773977 |