銅膜在矽基材上之應力行為研究

銅膜在矽基材上之應力行為研究

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 85 ===

Bibliographic Details
Main Author: 宋建憲
Other Authors: 周卓緷
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1997
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/98864138271455925781
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