Quality control by exploiting semiconductor wafer acceptance test data
碩士 === 國立臺灣大學 === 電機工程研究所 === 84 === WAT(Wafer Acceptance Test)是指半導體在完成所有製造程序後，對晶圓 上的測試結構所進行之電性測試；藉由WAT數據的分析，我們可發現半導 體製程之問題，並進行製程異常之偵測。在這篇論文中，探討如何利用 WAT數據的特性以發展晶圓及製程異常的偵測方法。我們提出以WAT數據為 基礎的品值管制架構，研究其中的三個問題：【1】WAT數據的統計特性分 析【2】抽...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1996
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/60122745399178663780 |