砷化鎵上穿透氮化鋁薄膜離子佈植之研究

砷化鎵上穿透氮化鋁薄膜離子佈植之研究

碩士 === 國立清華大學 === 電機工程研究所 === 77 ===

Bibliographic Details
Main Authors: LI, ZHENG-WEI, 李正維
Other Authors: YE, FENG-SHENG
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1989
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08969133684146911508
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