自動對準鈦矽化合物之技術在超大型積體電路上之應用

碩士 === 國立成功大學 === 電機工程研究所 === 77 ===

Bibliographic Details
Main Authors: XU, ZHENG-GUI, 許正貴
Other Authors: ZHANG, JUN-YAN
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1989
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/08793563499364158955