有機矽聚合物正型光阻劑微影成像性質之研究

有機矽聚合物正型光阻劑微影成像性質之研究

碩士 === 國立交通大學 === 應用化學研究所 === 75 ===

Bibliographic Details
Main Authors: WANG, ZONG-XIONG, 王宗雄
Other Authors: LONG, WEN-AN
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1987
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/05336684213487937095
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