鎢在矽晶上的界面反應
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 74 ===
Main Authors: | LIANG, JU-MIN, 梁鉅銘 |
---|---|
Other Authors: | CHEN, LI-JUN |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/61383734343870665801 |
Similar Items
-
鎢輿矽晶界面反應研究
by: LIN,JUN-XIAN, et al. -
矽化鎢薄膜在複晶矽上的特性
by: LIAO, YI-ZHI, et al. -
鉬金屬膜在矽晶上之界面反應
by: ZHENG, JIE-YAN, et al. -
鈦與離子分佈值後單晶矽的界面反應研究
by: WANG, MIN-HUN, et al. -
鈦與離子佈值後單晶矽的界面反應研究
by: 王閔弘
Published: (1987)