以低壓化學气相沈積法成長複晶矽的傳導性質
碩士 === 國立清華大學 === 應用物理研究所 === 69 ===
Main Authors: | Zheng, Zhi-Xiong, 鄭志雄 |
---|---|
Other Authors: | Huang, Rui-Xing |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/88362604414535696692 |
Similar Items
-
利用低壓化學氣相堆積法成長之複晶矽電阻器所組成的溫度計
by: Zhong, Ying-Han, et al. -
低壓化學气相沈積係統及非晶形矽半導體薄膜之研究
by: Zhong, Wen-Yue, et al. -
以低壓化學氣態沈積多晶矽、氮化矽與二氧化矽
by: Yan, Shui-Zhen, et al. -
製造在低壓化學氣相沈積複晶矽膜上之複晶氧化層及金氧半電晶體的特性及分析
by: Bai, Shuang-Xi, et al. -
低壓有機金屬氣相化學沈積法成長碲化鎘異型磊晶與物性探討
by: 周瑞麟
Published: (1988)