以低壓化學气相沈積法成長複晶矽的傳導性質

碩士 === 國立清華大學 === 應用物理研究所 === 69 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Zheng, Zhi-Xiong, 鄭志雄
Other Authors: Huang, Rui-Xing
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/88362604414535696692

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