Sistema de medida de la transmisión óptica de bajo coste con LED a 1.45 um: obtención del coeficiente de absorción del c-Si a altas temperaturas y monitorización in-situ de la recristalización de capas a-SiCx:H sobre c-Si.
En este trabajo se ha fabricado un equipo de medida que combina la alta temperatura con transmisión óptica, utilizando el espectro de emisión de un LED comercial de bajo coste de adquisición.A partir de las medidas de transmisión óptica se ha obtenido el coeficiente de absorción y a través de este c...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Universitat Rovira i Virgili
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10803/8464 |