Estudio de las propiedades como sensor de gas del a-SnWO4

En este trabajo se obtuvo películas delgadas de tungstato de estaño(II) mediante la técnica del "sputtering" reactivo. El proceso de deposición se efectuó mediante el "sputtering" simultáneo (co-sputtering) de dos blancos (targets), uno de tungsteno y otro de estaño, en una atmós...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Solís Véliz, José Luis
Format: Others
Language:es
Published: Universidad Nacional de Ingeniería. Programa Cybertesis PERÚ 1995
Online Access:http://cybertesis.uni.edu.pe/uni/1995/solis_vj/html/index-frames.html

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