磁気記録評価装置用変位拡大位置決め機構の構造系と制御系の統合化設計

Bibliographic Details
Main Authors: 安藤, 大樹, ANDO, Hiroki, 大日方, 五郎, OBINATA, Goro, 宮垣, 絢一郎, MIYAGAKI, Junichiro
Language:ja
Published: 日本機械学会 2005
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/2237/8967

Similar Items