静電式S字型フィルムアクチュエータの研究
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成10年3月3日
Main Authors: | 式田, 光宏, Shikida, Mitsuhiro |
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Language: | ja |
Published: |
1998
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Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/6608 |
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