Studies on Plasma Etching Process of Low Dielectrics for Fine Pattern Profile Control with Less Damage
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成24年3月26日
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Language: | en |
| Published: |
2012
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/16473 |