Studies on the Development and Application of Permanent Magnet Electron Cyclotron Resonance Plasma Sources
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成10年3月25日
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Language: | en |
| Published: |
1998
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/15739 |