Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes
A utilização de reações nucleares ressonantes estreitas em baixas energias é uma ferramenta importante para a determinação de distribuições de elementos leves em filmes finos com resolução em profundidade subnanométrica. O objetivo do trabalho descrito ao longo da presente dissertação é aprimorar os...
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Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
2007
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/10183/5484 |
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