Avanços na determinação da distribuição em profundidade de elementos leves com resolução subnanométrica utilizando reações nucleares ressonantes

A utilização de reações nucleares ressonantes estreitas em baixas energias é uma ferramenta importante para a determinação de distribuições de elementos leves em filmes finos com resolução em profundidade subnanométrica. O objetivo do trabalho descrito ao longo da presente dissertação é aprimorar os...

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Bibliographic Details
Main Author: Pezzi, Rafael Peretti
Other Authors: Baumvol, Israel Jacob Rabin
Format: Others
Language:Portuguese
Published: 2007
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/10183/5484