Filmes de diamante nanocristalino infiltrados em substratos de silício poroso através das técnicas CVD/CVI

Filmes de diamante nanocristalino infiltrados em substratos de silício poroso através das técnicas CVD/CVI

O crescimento de filmes de diamante nanocristalino (NCD - Nanocrystalline Diamond) obtido através da infiltração nos poros do silício poroso (PS - Porous Silicon) foi estudado utilizando microscopia eletrônica de alta resolução, difração de raios-x de alta resolução, espectroscopia de fotoelétrons d...

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Bibliographic Details
Main Author: Cláudia Renata Borges Miranda
Other Authors: Neidenêi Gomes Ferreira
Language:Portuguese
Published: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais 2009
Online Access:http://urlib.net/sid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/04.06.12.17

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