Filmes de diamante nanocristalino infiltrados em substratos de silício poroso através das técnicas CVD/CVI
O crescimento de filmes de diamante nanocristalino (NCD - Nanocrystalline Diamond) obtido através da infiltração nos poros do silício poroso (PS - Porous Silicon) foi estudado utilizando microscopia eletrônica de alta resolução, difração de raios-x de alta resolução, espectroscopia de fotoelétrons d...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
2009
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| Online Access: | http://urlib.net/sid.inpe.br/mtc-m18@80/2009/04.06.12.17 |