Estudo da formação de hidrogênio atômico no filamento do reator HFCVD
A complexidade do entendimento no processo de deposição de diamantes HFCVD é causada pela interdependência de quatro estágios principais que são: formação de radicais perto do filamento, seu transporte, reações químicas na fase gasosa e reações químicas na superfície do substrato. Para entender os f...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
2005
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| Online Access: | http://urlib.net/sid.inpe.br/iris@1913/2005/04.25.17.30 |