Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ.
Este trabalho, realizado junto ao Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD) pertencente ao Laboratório de Microeletrônica (LME) da Universidade de São Paulo, teve como objetivo correlacionar algumas propriedades físico-químicas de filmes finos de Ba1-XSrxTiO3 (BST), obtidos pela técnica de...
Main Author: | Marcus Vinicius Pelegrini |
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Other Authors: | Inês Pereyra |
Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2016
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26082016-154730/ |
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