Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

• Main Author: Marcelo Silva Guimarães
• Other Authors: Amilton Sinatora
• Language: Portuguese
• Published: Universidade de São Paulo 2002
• Subjects: filmes finos; flambagem; MEMS; microscopia nomarski; microssistemas; propriedades mecânicas propriedades térmicas; buckling; mechanical properties; microelectromechanical systems; nomarski microscopy; thermophysical properties; thin films
• Online Access: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/

Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem. === An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence.