Caracterização elétrica de contatos rasos de siliceto de níquel sobre junções N+P.
Este trabalho apresenta a fabricação e a caracterização elétrica de contatos Al/Ti/Ni(Pt)Si sobre junções rasas N+P com aproximadamente 0,2 ìm de profundidade, sendo que o monosiliceto de níquel foi formado a partir da estrutura Ni(30nm)/Pt(1,5nm)/Si. O comportamento elétrico dos diodos obtidos...
| Main Author: | |
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2006
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08122006-143302/ |