Estudo da deposição química de cobalto em superfícies de silício pré-ativadas por paládio.
Neste trabalho investigamos a deposição química de filmes finos de cobalto sobre superfícies de lâminas de silício, tipo P (100), previamente ativadas com paládio e estudamos alguns mecanismos químicos envolvidos no processo de deposição química de filmes finos de cobalto. Os filmes de cobalto f...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2008
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-06112008-102206/ |