Processamento de moldes micro- e nanoestruturados para o crescimento de nanofios por meio de litografia de varredura por sonda

• Main Author: Barbosa, Luiz Gustavo de Moura da Silva
• Other Authors: Papal?o, Ricardo Meurer
• Format: Others
• Language: Portuguese
• Published: Pontif?cia Universidade Cat?lica do Rio Grande do Sul 2015
• Subjects: ENGENHARIA DE MATERIAIS; POL?MEROS; MICROSCOPIA; LITOGRAFIA; CNPQ::ENGENHARIAS
• Online Access: http://tede2.pucrs.br/tede2/handle/tede/3140

Made available in DSpace on 2015-04-14T13:58:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 417720.pdf: 1390502 bytes, checksum: 24dc3fc58b5b1a3eea87451e0318eafe (MD5) Previous issue date: 2009-08-03 === Neste trabalho, foram estabelecidas rotinas reprodut?veis para o processamento de padr?es regulares em escala submicrom?trica em filmes finos polim?ricos utilizando a litografia de varredura por sonda (um dos modos de opera??o de um microsc?pio de varredura por sonda SPM). Foram utilizadas sondas de sil?cio para realizar as matrizes de furos no modo de aragem din?mica (dynamic plowing). Ap?s, a ponta foi trocada para a visualiza??o das matrizes no modo de contato intermitente. As rotinas de padroniza??o foram aplicadas em filmes finos de PMMA de diferentes pesos moleculares e espessuras, depositados por spin coating, otimizando estes dois par?metros para a forma??o de m?scaras na forma de grade de furos. O di?metro e a profundidade dos furos e tamb?m a altura e largura das deforma??es aos seus arredores foram investigados em fun??o da for?a de intera??o e do tempo de a??o da sonda, bem como da espessura dos filmes e peso molecular dos pol?meros. Uma vez otimizados os procedimentos b?sicos, as rotinas desenvolvidas foram aplicadas no processamento de moldes para o crescimento de arranjos regulares de nanofios de ZnO.