Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro

• Main Author: Pohl, Alexandre de Almeida Prado
• Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
• Format: Others
• Language: Portuguese
• Published: [s.n.] 1987
• Subjects: Elipsometria; Superfícies (Física)
• Online Access: POHL, Alexandre de Almeida Prado. Construção de uma evaporadora acoplada a um elipsômetro. 1987. 62 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277934>. Acesso em: 26 set. 2018.; http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277934

Orientador: Helmut Hans Dispert === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-09-26T17:48:56Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Pohl_AlexandredeAlmeidaPrado_M.pdf: 937663 bytes, checksum: e1f048d09e9f6135dae1e58fd76c98c9 (MD5) Previous issue date: 1987 === Resumo: Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsômetro fotométrico automático. O sistema permite estudos In situ de propriedades ópticas de filmes evaporados. São descritos detalhes da construção e operação da evaporadora, assim como detalhes da influência das janelas ópticas nas medidas elipsométricas. A verificação do desempenho do aparato experimental foi realizada depositando-se filmes de diversos metais e analisando-se os resultados para as respectivas constantes ópticas. A cinética de oxidação dos filmes recém-evaporados pôde ser acompanhada, revelando a potencial Idade do Instrumento no estudo da dinâmica de superfícies === Abstract: A vacuum evaporator apparatus coupled to na automatic fotometric ellipsometer was built. The system allows in situ studies of optical properties of evaporated films. Details on its construction and operation, as well as the influence of the optical windows in the ellipsometric measurements, are described. The performance evaluation of the apparatus was accomplished by evaporating films of several metals and by analyzing the results obtained for their optical constants. The kinetics of oxidation of freshly evaporated films was monitored, revealing the potentiality of the instrument in the study of surface dynamics === Mestrado === Física === Mestre em Física