Magnetron Sputtering planar construção e aplicação
Orientador: Sergio Artur Bianchini Bilac === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin === Made available in DSpace on 2018-07-14T00:34:53Z (GMT). No. of bitstreams: 1 EleuterioFilho_Sebastiao_M.pdf: 3937274 bytes, checksum: 3a5a8e1cc4df74ca5071ce5...
Main Author: | |
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Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
[s.n.]
1991
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Subjects: | |
Online Access: | ELEUTERIO FILHO, Sebastião. Magnetron Sputtering planar construção e aplicação. 1991. [128]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277105>. Acesso em: 13 jul. 2018. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277105 |
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ELEUTERIO FILHO, Sebastião. Magnetron Sputtering planar construção e aplicação. 1991. [128]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277105>. Acesso em: 13 jul. 2018.http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277105