Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeV

• Main Author: Damiani, Furio, 1943-2016
• Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
• Format: Others
• Language: Portuguese
• Published: [s.n.] 1976
• Subjects: Implantação iônica; Ionização
• Online Access: DAMIANI, Furio. Anteprojeto de um implantador de ions para 40 KeV. 1976. 122 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/262005>. Acesso em: 14 jul. 2018.; http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/262005

Orientador : C.I.Z. Mammana === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas === Made available in DSpace on 2018-07-14T09:14:46Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Damiani_Furio_M.pdf: 3573443 bytes, checksum: 4aaecc119d7be2531b5e73247c5f092e (MD5) Previous issue date: 1976 === Resumo: Este trabalho documenta a experiência obtida no projeto e construção de um implantador de íons no LME-EPUSP e o subsequente projeto de um implantador de íons para o Laboratório de Eletrônica e Dispositivos da Faculdade de Engenharia da UNICAMP. Foram concluÍdos os projetos e desenhos de execução das partes componentes do implantador do LED tendo sido introduzidas diversas modificações baseadas na experiência anteriormente citada e também nas características propostas para o implantador do LED. Entre estas podemos citar a elaboração de uma fonte de íons de concepção mais simples a utilização de um espectrômetro massa tipo setor magnético, uma câmara de alvo aperfeiçoada. O sistema de vácuo é totalmente automático === Abstract: Not informed === Mestrado