Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)

Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)

Orientador: Ioshiaki Doi === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-03T06:24:42Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Santos_RegisEugeniodos_M.pdf: 4796664 bytes, checksum: fe4bb2ff22f9c4d051ddc3dd38...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Santos, Regis Eugenio dos
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2003
Subjects:
Microeletrônica
Silecetos
Contatos elétricos
Online Access:SANTOS, Regis Eugenio dos. Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100). 2003. 90f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258973>. Acesso em: 3 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258973

Internet

SANTOS, Regis Eugenio dos. Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100). 2003. 90f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258973>. Acesso em: 3 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258973

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