Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Orientador : Ioshiaki Doi === Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação === Made available in DSpace on 2018-08-01T09:31:11Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Neli_RobertoRibeiro_M.pdf: 3940208 bytes, checksum: f11ee9eb60bc457e66e08e1d5feb...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Neli, Roberto Ribeiro
Other Authors: UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
Format: Others
Language:Portuguese
Published: [s.n.] 2002
Subjects:
Online Access:NELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 2002. 89p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258962>. Acesso em: 1 ago. 2018.
http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258962