Otimização do processo de deposição de filmes de óxido de cobalto usando magnetron sputtering reativo

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Bibliographic Details
Main Author: Azevedo Neto, Nilton Francelosi
Other Authors: Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Language:Portuguese
Published: Universidade Estadual Paulista (UNESP) 2018
Subjects:
Co3O4
CoO
Sputtering reativo
Crescimento de filmes
Estrutura
Reactive sputtering
Film growth
Structure
Online Access:http://hdl.handle.net/11449/158325

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