Fonte de potência para síntese de filmes finos por pulverização catódica na faixa de khz

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Bibliographic Details
Main Author:	Rabelo, Wagner Henrique
Other Authors:	Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Language:	Portuguese
Published:	Universidade Estadual Paulista (UNESP) 2018
Subjects:	Óxidos Compostos de zinco Pulverizador de plasma Fonte de potência em KHz de plasma Magnetron sputtering drive plasma power amplifier Thin film of AZO Aluminum-doped zinc oxide films
Online Access:	http://hdl.handle.net/11449/154742

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