Estudo do processo de implantação iônica por imersão em plasma com campo magnético externo usando técnicas numéricas e experimentais
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Main Author: | |
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Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade Estadual Paulista (UNESP)
2014
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/11449/102487 |