Desenvolvimento e caracteriza??o de dispositivos para reposi??o de filmes finos por descarga em c?todo oco

Desenvolvimento e caracteriza??o de dispositivos para reposi??o de filmes finos por descarga em c?todo oco

Made available in DSpace on 2014-12-17T15:15:02Z (GMT). No. of bitstreams: 1 FranciscoOA.pdf: 1713095 bytes, checksum: 1ee138883bf7b4da570838f6654b21b0 (MD5) Previous issue date: 2006-12-15 === Conselho Nacional de Desenvolvimento Cient?fico e Tecnol?gico === In the present work we use a plasma je...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Ara?jo, Francisco Odolberto de
Other Authors: CPF:09621199468
Format: Others
Language:Portuguese
Published: Universidade Federal do Rio Grande do Norte 2014
Subjects:
Filmes finos
Substrato de sil?cio
C?todo oco
Processo sol-gel
Gaiola ionizante
Films
Silicon substrates
Hollow cathode
Sol-gel process
Ionizing cage
CNPQ::CIENCIAS EXATAS E DA TERRA::FISICA
Online Access:http://repositorio.ufrn.br:8080/jspui/handle/123456789/16640

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