Otimização da síntese do projeto de atuadores MEMS baseados em deformação elástica e estrutura comb-drive

Otimização da síntese do projeto de atuadores MEMS baseados em deformação elástica e estrutura comb-drive

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MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) é um microsistema invasivo, intermediador e interativo que se desenvolve de forma inteligente, versátil e eficiente. Entretanto, a interatividade, característica que o torna altamente atrativo e suas qualidades de leveza, invisibilidade, economia quanto a cons...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Reimbold, Manuel Martín Pérez
Other Authors: Ribas, Renato Perez
Format: Others
Language:Portuguese
Published: 2010
Subjects:
Microeletrônica
Layout : Circuitos integrados
Circuitos integrados
Microsistemas
MEMS
Comb-drive
Design
Synthesis
Systems identification
ARX model
Online Access:http://hdl.handle.net/10183/18643

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