| Summary: | Os MEMS (MicroElectroMechanical Systems) fazem parte de uma tecnologia que vem
conquistando o mercado mundial. Seu desempenho, confiabilidade e economia de energia são
suas principais características. O interesse comercial nesta tecnologia movimenta bilhões de
dólares ao ano. Esta crescente demanda de MEMS exige que cada dispositivo seja testado,
garantindo a qualidade de todos os dispositivos que vão para o mercado. Porém o custo dos
testes é elevado, podendo chegar a 50% do custo dependendo da complexidade da estrutura. Os
sensores MEMS, principalmente os de ação inercial, necessitam diversos testes baseados em
estímulos físicos. Com a finalidade de reduzir os custos dos testes, a simulação fornecida pela
modelagem matemática se apresenta como uma ferramenta de baixo custo. Porém os
conhecimentos físicos da escala micrométrica são limitados. Uma alternativa para superar estes
problemas é a identificação de sistemas. A identificação é uma técnica não invasiva que obtém
o modelo matemático que explica de forma aproximada, a relação de causa e efeito entre dados
observados. Por isso, este trabalho propõe o uso da identificação de sistemas para representar o
modelo comportamental de MEMS baseados em deformação elástica. São identificados dois
conjuntos de modelos: ARX para sistemas sem ruído e ARMAX para sistemas com ruído. Na
maioria dos casos os modelos apresentaram desempenho eficiente. Apenas um dos casos do
modelo ARMAX apresentou desempenho abaixo do esperado. Os resultados são validados
através da análise do desempenho comportamental e análise do erro percentual. Logo, as
técnicas utilizadas se mostram práticas e validas na identificação do modelo de um dispositivo
MEMS. === 101 f.
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