Efeito de bolhas e de transporte na morfologia do silício corroído anisotropicamente.

Esta tese descreve um estudo da corrosão anisotrópica do silício monocristalino em solução de KOH. As superfícies sendo corroídas foram observadas em tempo real com um vídeo-microscópio, e foram medidos parâmetros Tb e Ram de bolhas produzidas na reação para correlacionar com a respectiva rugosidade...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Alvimar da Silveira Louro
Other Authors: José Roberto Sbragia Senna
Format: Others
Language:Portuguese
Published: Instituto Tecnológico de Aeronáutica 2001
Subjects:
Online Access:http://www.bd.bibl.ita.br/tde_busca/arquivo.php?codArquivo=2557

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